原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片

Author:

Tan Mingsheng 谭明生,Ming Shuaiqiang 明帅强,Wu Yufei 吴雨菲,Lu Weier 卢维尔,Li Yanli 李艳丽,Kong Xiangdong 孔祥东,Liu Haigang 刘海岗,Xia Yang 夏洋,Han Li 韩立

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference42 articles.

1. 100 years of x rays: impact on micro- and nanofabrication;H I Smith;Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures,1995

2. Synchrotron-based investigations of the nature and impact of iron contamination in multicrystalline silicon solar cells;T Buonassisi;Journal of Applied Physics,2005

3. Soft X-ray microscopes and their biological applications;M Howells;Quarterly Reviews of Biophysics,1995

4. 上海光源X射线成像及其在材料科学上的应用研究进展;邓彪;失效分析与预防,2021

5. Development of X-ray imaging methodology and its applications on material science at Shanghai synchrotron radiation facility;B Deng;Failure Analysis and Prevention,2021

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