基于光学介电微球阵列的激光微纳图案化加工研究

Author:

Zhang Yi 张弋

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference34 articles.

1. 先进光刻技术的发展历程与最新进展;李艳丽;激光与光电子学进展,2022

2. Evolution and updates of advanced photolithography technology;Y L Li;Laser&Optoelectronics Progress,2022

3. 飞秒激光加工低维纳米材料及应用;左佩;中国激光,2021

4. Femtosecond laser processing of low-dimensional nanomaterials and its application;M S Liang;Chinese Journal of Lasers,2021

5. 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化;崔云;中国激光,2019

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