CVD法制备的高结晶质量二维β-Ga2O3薄膜性质研究

Author:

Li Xingchen 李星晨,Lin Fengyuan 林逢源,Jia Huimin 贾慧民,Kang Yubin 亢玉彬,Shi Yongji 石永吉,Meng Bingheng 孟兵恒,Fang Dan 房丹,Tang Jilong 唐吉龙,Wang Dengkui 王登魁,Li Kexue 李科学,Chu Xueying 楚学影,Wei Zhipeng 魏志鹏

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Atomic and Molecular Physics, and Optics

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