基于平移差分的微结构线宽显微测量方法

Author:

MA Jianqiu 马剑秋,GAO Zhishan 高志山,YUAN Qun 袁群,GUO Zhenyan 郭珍艳,SUN Yifeng 孙一峰,LEI Lihua 雷李华,ZHAO Lin 赵琳

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference29 articles.

1. MEMS handbook;M GAD-EL-HAK;Applied Mechanics Reviews,2002

2. Analysis and research of PCB line width in production process;Hui GOU;Science and Technology & Innovation,2022

3. 生产过程中的PCB线宽分析研究;李坚;科技与创新,2022

4. Nanometer measurement and micro intelligent instrument;Zhuangde JIANG;China Mechanical Engineering,2000

5. 纳米测量技术与微型智能仪器;蒋庄德;中国机械工程,2000

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