大口径超薄基板双面溅射膜厚均匀性研究-Reference-Cited by-同舟云学术

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大口径超薄基板双面溅射膜厚均匀性研究

Published:2023 Issue:6 Volume:52 Page:0631001
ISSN:1004-4213
Container-title:ACTA PHOTONICA SINICA
language:en
Short-container-title:光子学报

Author:

FU Xiuhua 付秀华,LIU Junqi 刘俊岐,LI Zhuolin 李卓霖,LIU Haicheng 刘海成,REN Haifeng 任海峰,WANG Yibo 王一博,HAN Kexu 韩克旭

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference25 articles.

1. 磁控溅射镀膜相关物理过程的多尺度模拟与实验研究;朱国,2019

2. Multiscale simulation and experimental study of physical processes involved in magnetron sputtering deposition;Guo ZHU,2019

3. Modern optical thin film technology;Peifu GU,2006

4. 现代光学薄膜技术;唐晋发,2006

5. 不同溅射方法薄膜制备的理论计算及特性研究;于贺,2013

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