Research and improvement of TFT white color uniformity based on SiNx film

Author:

CAO Bin-bin 操彬彬,YE Cheng-zhi 叶成枝,AN Hui 安晖,MA Li 马力,LIU Guang-dong 刘广东,LYU Yan-ming 吕艳明,PENG Jun-lin 彭俊林,YANG Zeng-qian 杨增乾,LI Fang-fang 栗芳芳,LU Xiang-wan 陆相晚,HUANG Zheng-feng 黄正峰,LIU Zeng-li 刘增利,LIAO Wei-jing 廖伟经,LI Heng-bin 李恒滨

Publisher

Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences

Subject

Instrumentation,Signal Processing,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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