用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展-Reference-Cited by-同舟云学术

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用于表面形貌测量的扫描白光干涉技术进展

Published:2023 Issue:3 Volume:60 Page:0312005
ISSN:1006-4125
Container-title:Laser & Optoelectronics Progress
language:en
Short-container-title:激光与光电子学进展

Author:

Su Rong 苏榕,Liu Jiayu 刘嘉宇,Qiao Xiaoyue 乔潇悦,Jian Zhenxiong 简振雄,Zhang Zheng 张政,Wen Rongxian 温荣贤,Chen Cheng 陈成,Ren Mingjun 任明俊,Zhu Limin 朱利民

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference185 articles.

1. Malacara D. Optical shop testing;K Creath,2007

2. White light interferometry applications in nanometrology;M Bojan;Proceedings of SPIE,2009

3. Hariharan P. Basics of interferometry;P Hariharan,2010

4. Leach R K. Optical measurement of surface topography;P de Groot,2011

5. Wang Q J, Chung Y W. Encyclopedia of tribology;W Bauer,2013

Cited by 4 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Full surface profile measurement of a small sized ball based on a stitching measurement method by reversal clamping;Measurement;2025-01

2. 基于非均匀快速傅里叶变换的抗振动白光干涉测量方法;Acta Optica Sinica;2024

3. 发挥蝙蝠翼高频脉冲特性的微结构线宽超分辨测量方法;Acta Optica Sinica;2024

4. 壁画文物缺陷的数字全息检测与分析;Chinese Journal of Lasers;2023

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