Rapid Chip Reverse Engineering Using Laser, FIB, and SEM
Author:
Affiliation:
1. University of Connecticut , Storrs, CT , USA
2. Manhattan College , Riverdale, NY , USA
Publisher
Oxford University Press (OUP)
Link
https://academic.oup.com/mam/article-pdf/30/Supplement_1/ozae044.314/58672254/ozae044.314.pdf
Reference3 articles.
1. Gas-assisted femtosecond pulsed laser machining: A high-throughput alternative to focused ion beam for creating large, high-resolution cross sections
2. Rapid high-resolution volumetric imaging via laser ablation delayering and confocal imaging
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