Low-Temperature Coating of Si Oxide by Aerosol Assisted CVD
Author:
Affiliation:
1. Universidad Autónoma de Chihuahua, Facultad de ingeniería. Chih. , Chihuahua , Mexico
2. Centro de Investigación en Materiales Avanzados (CIMAV), Laboratorio Nacional de Nanotecnología , Chihuahua, Chih. , Mexico
Publisher
Oxford University Press (OUP)
Link
https://academic.oup.com/mam/article-pdf/30/Supplement_1/ozae044.286/58672507/ozae044.286.pdf
Reference3 articles.
1. Chemical vapour deposition of coatings
2. Aerosol-assisted chemical vapour deposition of transparent superhydrophobic film by using mixed functional alkoxysilanes
3. Growth of SiO2 films by TEOS-PECVD system for microelectronics applications
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