Identification des propriétés élastoplastiques des films minces de CrN en utilisant la technique de nanoindentation et la modélisation par éléments finis (FEM)

Abstract

Dans ce travail, les propriétés élastoplastiques intrinsèques des films minces telles que le module d’Young E, la limite d’élasticité σy et le coefficient d’écrouissage n ont été identifiées à partir des méthodes numériques qui se basent sur des analyses dimensionnelles, des calculs par éléments finis et la résolution des algorithmes d’analyse inverse. Quatre méthodes de la littérature ont été sélectionnées pour identifier les propriétés des films minces en considérant les effets liés au substrat. De plus, l’efficacité de ces modèles numériques a été discutée à l’aide d’une vérification numérique en comparant les résultats d’identification aux propriétés introduites dans les simulations. Les propriétés mécaniques des films minces de CrN ont été enfin identifiées à l’aide de ces modèles. Les résultats d’identification ont été comparés aux propriétés mécaniques des films CrN reportées de la littérature et le bon accord montre que trois de ces quatre méthodes numériques peuvent être appliquées dans le cas des films minces.