Deep etch lithography at LURE-D.C.I. storage ring-Reference-Cited by-同舟云学术

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Deep etch lithography at LURE-D.C.I. storage ring

Published:1994-11 Issue:C9 Volume:04 Page:C9-269-C9-272
ISSN:1155-4339
Container-title:Le Journal de Physique IV
language:
Short-container-title:J. Phys. IV France

Author:

Megtert S.,Labèque A.,Zewen Liu,Dexpert H.,Comès R.,Rousseaux F.,Ravet M. F.,Launois H.,Ballandras S.,Daniau W.,Basrour S.,Rouillay M.,Blind P.,Hauden D.

Publisher

EDP Sciences

Subject

General Physics and Astronomy

Link

http://jp4.journaldephysique.org/10.1051/jp4:1994947/pdf

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Microgrippers fabricated by the LIGA technique;Sensors and Actuators A: Physical;1997-03

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