Platinum Silicide Precipitate Formation During Phosphorus Diffusion Gettering in Silicon-Reference-Cited by-同舟云学术

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Platinum Silicide Precipitate Formation During Phosphorus Diffusion Gettering in Silicon

Published:2001-11 Issue: Volume:82-84 Page:411-416
ISSN:1662-9779
Container-title:Solid State Phenomena
language:
Short-container-title:SSP

Author:

Seibt Michael¹,Döller A.¹,Kveder Vitaly V.²,Sattler Andreas³,Zozime A.⁴

Affiliation:

1. Universität Göttingen

2. Russian Academy of Sciences

3. Siltronic AG

4. Université d'Evry-Val-d'Essonne

Publisher

Trans Tech Publications, Ltd.

Subject

Condensed Matter Physics,General Materials Science,Atomic and Molecular Physics, and Optics

Link

https://www.scientific.net/SSP.82-84.411.pdf

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