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Effect of the substrate crystalline orientation on the surface morphology and boron incorporation into epitaxial diamond layers

  • Published:2020 Issue: Volume: Page:
  • ISSN:2694-930X
  • Container-title:NANOCON Conference Proeedings
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Voves Jan1,Pošta Alexandr1,Davydova Marina2,Laposa Alexandr1,Povolný Vojtěch1,Hazdra Pavel1,Lambert Nicolas12,Sedlaková Silvia2,Mortet Vincent23

Affiliation:

1. Faculty of Electrical Engineering, Czech Technical University in Prague, Prague, Czech Republic, EU, voves@fel.cvut.cz

2. Institute of Physics of the Czech Academy of Sciences, Prague 8, Czech Republic, EU, mortet@fzu.cz

3. Faculty of Biomedical Engineering, Czech Technical University in Prague, Kladno, Czech Republic, EU

Publisher

TANGER Ltd.

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