Особливості впливу умов вирощування на структурні і оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O
-
Published:2012-06-30
Issue:6
Volume:57
Page:653
-
ISSN:2071-0194
-
Container-title:Ukrainian Journal of Physics
-
language:
-
Short-container-title:Ukr. J. Phys.
Author:
Штеплюк І.І.,Лашкарьов Г.В.,Хомяк В.В.,Литвин О.С.,Мар’янчук П.Д.,Тімофєєва І.І.,Євтушенко А.І.,Лазоренко В.Й.
Abstract
Досліджено вплив потужності магнетрона і співвідношення тисків робочих газів Ar/O2 на мікроструктуру та оптичні властивості плівок Zn0,9Cd0,1O. Плівки осаджено методом магнетронного розпилювання на постійному струмі при температурі підкладки 250 ºC. Дослідження морфології поверхні, здійснені за допомогою атомно-силової мікроскопії (АСМ), і рентгенофазовий аналіз (РФА) виявили сильний вплив технологічних параметрів осадження на мікроструктуру плівок. РФА аналіз показав, що всі вирощені плівки є полікристалічними і однофазними. Встановлено, що зростанняпарціального тиску аргону в газовій суміші Ar:O2 сприятливо впливає на кристалічну структуру твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O. Обговорено особливості контролю ширини забороненої зони та морфології поверхні твердих розчинів Zn0,9Cd0,1O шляхом зміни параметрів вирощування.
Publisher
National Academy of Sciences of Ukraine (Co. LTD Ukrinformnauka) (Publications)
Subject
General Physics and Astronomy
Reference33 articles.
1. 1. A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S.F. Chichibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Nature Mater. 4, 42 (2005). 2. 2. Z.P. Wei, Y.M. Lu, D.Z. Shen, Z.Z. Zhang, B. Yao, B.H. Li, J.Y. Zhang, D.X. Zhao, X.W. Fan, and Z.K. Tang, Appl. Phys. Lett. 90, 042113 (2007). 3. 3. J.M. Qin, B. Yao, Y. Yan, J.Y. Zhang, X.P. Jia, Z.Z. Zhang, B.H. Li, C.X. Shan, and D.Z. Shen, Appl. Phys. Lett. 95, 022101 (2009). 4. 4. B.P. Zhang, N.T. Binh, K. Wakatsuki, C.Y. Liu, Y. Segawa, and N. Usami, Appl. Phys. Lett. 86, 032105 (2005). 5. 5. H.D. Sun, T. Makino, N.T. Tuan, Y. Segawa, Z.K. Tang, G.K.L. Wong, M. Kawasaki, A. Ohtomo, K. Tamura, and H. Koinuma, Appl. Phys. Lett. 77, 4250 (2000).
|
|