Structure and mechanical stresses in TaSi<sub>2</sub>/Si multilayer-Reference-Cited by-同舟云学术

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Structure and mechanical stresses in TaSi₂/Si multilayer

Published:2018-12-19 Issue:4 Volume:25 Page:729-735
ISSN:1027-5495
Container-title:Functional materials
language:
Short-container-title:Funct.Mater.

Author:

Devizenko A.Yu.,

Publisher

National Academy of Sciences of Ukraine (Co. LTD Ukrinformnauka)

Subject

General Materials Science

Reference12 articles.

1. 1. H.Yan, R.Conley, J. Phys. D: Appl. Phys., 47, 263001 (2014)

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5. 4. http://sci-progs.com/ (accessed 25.04.18)

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