Author:
Milanina K. I.,Agafonov A. N.,Andreeva T. A.
Abstract
A method has been developed to eliminate gaps between glass plates during thermal bonding using a system for distributing the mechanical load. Theoretical and experimental studies of the proposed method have been carried out. The results of numerical and full-scale experiments are presented, confirming the effectiveness of the proposed method.
Publisher
Izdatel'skii dom Spektr, LLC
Reference17 articles.
1. Agafonov A. N., Platonov V. I., Batalova A. M., et al. Development of the manufacturing technology of mi-crofluidic systems on glass plates // AIP Conference Pro-ceedings. International Conference on Advanced Materials, ICAM 2019. New Delhi, 6 – 7 March 2019. New Delhi: American Institute of Physics Inc., 2020. V. 2276. P. 1 – 10.
2. Платонов И. А., Платонов В. И., Колесниченко И. Н. и др. Микрофлюидные системы в газовом анализе: обзор // Сорбционные и хроматографические процессы. 2015. Т. 15, № 6. С. 754 – 768.
3. Потиенко К. И., Агафонов А. Н. Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек // Международная молодежная научная конференция «XV Королёвские чтения», посвященная 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова: сб. тр. Самара, 8 – 10 октября 2019 г. Самара, 2019. Т. 1. С. 415–416.
4. Миланина К. И., Агафонов А. Н., Ляпина А. А. Способ герметизации микрофлюидных систем на стеклянных подложках // Всероссийская научно-техническая конференция «Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций». Самара, 21 – 23 апреля 2021 г. Самара, 2021. С. 114 – 116.
5. Renberg B., Sato K., Tsukahara T., et al. Hands on: thermal bonding of nano- and microfluidic chips // Microchim. Acta. 2009. V. 166. P. 177 – 181. URL: https:// doi.org/10.1007/s00604-009-0166-y