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Effects of Tungsten Polycide Process and Post-Polyoxidation Rapid Thermal Process on Electrical Characteristics of Thin Polysilicon Oxide

  • Published:1999-10-01 Issue:Part 2, No. 10A Volume:38 Page:L1091-L1093
  • ISSN:0021-4922
  • Container-title:Japanese Journal of Applied Physics
  • language:
  • Short-container-title:Jpn. J. Appl. Phys.

Author:

Huang Kuo-Ching,Fang Yean-Kuen,Yaung Dun-Nian,Hsieh Jang-Cheng,Liang Mong-Song

Publisher

IOP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy,Physics and Astronomy (miscellaneous),General Engineering

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

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