Discharges between Coaxial Cylinders in a Magnetic Field

Author:

Hayakawa Shigeru1,Wasa Kiyotaka1

Affiliation:

1. Research Laboratory, Wireless Division Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Publisher

Physical Society of Japan

Subject

General Physics and Astronomy

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1. Sputtering Systems;Handbook of Sputtering Technology;2012

2. Sputtering Systems;Thin Film Materials Technology;2004

3. On the theory of low-pressure magnetron glow discharge;Physics of Plasmas;2000-01

4. A two-inch dc/rf circular magnetron sputtering gun for a miniature chamber for an in situ experiment;Review of Scientific Instruments;1998-04

5. The cylindrical DC magnetron discharge: II. The negative space charge mode;Journal of Physics D: Applied Physics;1998-01-21

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