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Effect of Extreme Ultraviolet Light Scattering from the Rough Absorber and Buffer Side Wall

  • Published:2004-06-29 Issue:6B Volume:43 Page:3695-3699
  • ISSN:0021-4922
  • Container-title:Japanese Journal of Applied Physics
  • language:en
  • Short-container-title:Jpn. J. Appl. Phys.

Author:

Kwon Yeong-Keun,Sim Sang-Jin,Kim Jong-Hoi,Cha Byung-Cheol,Park Seung-Wook,An Ilsin,Oh Hye-keun

Publisher

IOP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy,Physics and Astronomy (miscellaneous),General Engineering

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Resist Reflow Modeling Including Surface Tension and Bulk Effect;Japanese Journal of Applied Physics;2007-04-05
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