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Effects of Low-$k$ Stack Structure on Performance of Complementary Metal Oxide Semiconductor Devices and Chip Package Interaction Failure

  • Published:2012-09-03 Issue: Volume:51 Page:096504
  • ISSN:0021-4922
  • Container-title:Japanese Journal of Applied Physics
  • language:en
  • Short-container-title:Jpn. J. Appl. Phys.

Author:

Tagami Masayoshi,Inoue Naoya,Ueki Makoto,Narihiro Mitsuru,Tada Munehiro,Yamamoto Hironori,Ito Fuminori,Furutake Naoya,Saito Shinobu,Onodera Takahiro,Takeuchi Tsuneo,Hayashi Yoshihiro

Publisher

IOP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy,Physics and Astronomy (miscellaneous),General Engineering
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