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Improvement of Deposition Rate by Sandblasting of Tungsten Wire in Catalytic Chemical Vapor Deposition

  • Published:2005-04-08 Issue:4A Volume:44 Page:1943-1944
  • ISSN:0021-4922
  • Container-title:Japanese Journal of Applied Physics
  • language:en
  • Short-container-title:Jpn. J. Appl. Phys.

Author:

Heya Akira,Niki Toshikazu,Takano Masahiro,Doguchi Yoshiteru,Yonezawa Yasuto,Minamikawa Toshiharu,Muroi Susumu,Minami Shigehira,Izumi Akira,Masuda Atsushi,Umemoto Hironobu,Matsumura Hideki

Publisher

IOP Publishing

Subject

General Physics and Astronomy,Physics and Astronomy (miscellaneous),General Engineering
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