1. 1. S.Y.Chou, US Pat. 5,772,905, 6,309,580, S.Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstorm, APL, 67 (1995) 3114 and Science, 272 (1996) 85.
2. 2. a) K. J. Byeon et al. Physica Status Solidi A, 208 (2011) 480. Z. Yu, H. Gao, W. Wu, H. Ge and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol., B, 21 (6) (2003) 2874. citation=b) A. S. P. Chang, H. Tan, S. Bai, W. Wu, Z. Yu and S. Y. Chou, IEEE Photonics Technology Letters, 19 (14) (2007) 1099.
3. citation=3. S.Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstorm, APL, 67 (1995) 3114 and Science, 272 (1996) 85. J. Haisma, M. VerhLee, J. Paeijein, K. van den Heuvel and J. van den Berg, J. Vac. Sci. Technol., B 14 (1996) 4124.
4. 4. M. W. Hart et al, Abstract of EIPBN 5C-1(2007), M. Malloy and L. C. Litt, Proc. SPIE, 7637 (2010) 763706, I. Yoneda, S. Mikami, T. Ota, T. Koshiba, M. Ito, T. Nakasugi and T. Higasihiki, Proc. SPIE, 6921 (2008) 692104.
5. 5. M. Colburn, A. Grot, M. Stewart, S. Damle, T. Baley, B. Choi, M. Wedlake, T. Michaelson, S. V. Sreenivasan, J. Ekerdt and C. G. Willson, Proc. SPIE, 3676 (1999) 379.