Innovative Process and Material for sub-80nm Lithography (M+Process)

Author:

Lee Gensu,Jung Jaechang,Lee Sungkwon,Lee Sungkoo,Kim Taekwan,Park Jungwoo,Bok Cheolkyu,Moon Sungchan,Kim Jinwoong

Publisher

Technical Association of Photopolymers, Japan

Subject

Materials Chemistry,Organic Chemistry,Polymers and Plastics

Reference9 articles.

1. 1. G.Lee et al., , Proc. SPIE. 5753-22 (2005)

2. 2. J.S.Kim et al., Proc. SPIE. 4345 (2002) 232

3. 3. P.K.Montgomery et al., Proc. SPIE.5039 (2003), 807

4. 4. W.-Y.Chung et al., Proc. SPIE.5376 (2004), 975

5. 5. M.S. Kim., Proc. SPIE. 4690 (2002) 761

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