Effects of Modified Materials on Plasma in Surface Modification by CF4 Plasma

Author:

Katoh Masaaki1,Shirai Masami1,Ohte Takeo1,Kojima Akira1

Affiliation:

1. Gunma National College of Technology

Publisher

Technical Association of Photopolymers, Japan

Subject

Materials Chemistry,Organic Chemistry,Polymers and Plastics

Reference8 articles.

1. [1] M. Hudis, in: J.R. Hollahan, A.T. Bell (Eds.), Techniques and Applications of Plasma Chemistry, Wiley, New York, 1974, p.113.

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