Hemicellulose Block Copolymers for Advanced Lithography Process
Author:
Affiliation:
1. Oji Holdings Corporation
2. SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
3. SCREEN SPE Germany GmbH
Publisher
Technical Association of Photopolymers, Japan
Subject
Materials Chemistry,Organic Chemistry,Polymers and Plastics
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/photopolymer/32/3/32_407/_pdf
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