Fabrication of Concave Resist Patterns for the Use of Reversal Molds of High-Density Micro-Lens Arrays
Author:
Affiliation:
1. Tokyo Denki University
Publisher
Technical Association of Photopolymers, Japan
Subject
Materials Chemistry,Organic Chemistry,Polymers and Plastics
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/photopolymer/29/4/29_595/_pdf
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1. Evaluation of resist molds formed for fabricating micro-lens arrays and practicability of replicated epoxy resin lenses;Optical Microlithography XXXI;2018-03-20
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