1. 1. J. Haisma, M. Verheijen, K. van den Heuvel, and J. van den Berg, J. Vac. Sci. Technol. B, 14 (1996) 4124. doi: 10.1116/1.588604T.
2. 2. K. Selinidis, E. Thompson, G. Schmid, N. Stacey, J. Perez, J. Maltabes, D. J. Resnick, J. Yeo, H. Kim, and B. Eynon, Proc. SPIE, 7028 (2008) 70280R. doi: 10.1117/12.793034
3. 3. Z. Ye, R. Ramos, C. B. Brooks, P. Hellebrekers, S. Carden, and D. La Brake, Proc. SPIE, 7637 (2010) 76371A. doi: 10.1117/12.849226T.
4. 4. G. M. Schmid, C. Brooks, Z. Ye, S. Johnson, D. La Brake, S. V. Sreenivasan, and D. J. Resnick, Proc. SPIE, 7488 (2009) 748820. doi: 10.1117/12.833366T.
5. 5. I. Bergmair, M. Muhlberger, K. Hingerl, E. Pshenay-Severin, T. Pertsch, E. B. Kley, H. Schmidt, and R. Schoftner, Microelectron. Eng., 87 (2010) 1008. doi: 10.1016/j.mee.2009.11.109