Proposal of Flow Split Controller and Control Parameter Optimization for Semiconductor Manufacturing Process
Author:
Affiliation:
1. HORIBA STEC, Co., Ltd.
2. Graduate School of Engineering, Osaka University
Publisher
The Society of Instrument and Control Engineers
Subject
General Medicine
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sicetr/58/7/58_317/_pdf
Reference12 articles.
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