STUDY OF DIRECT LASER RECORDING OF MICRO-RELIEF ON A TWO-LAYER a-Si/Ag STRUCTURE-Reference-Cited by-同舟云学术

STUDY OF DIRECT LASER RECORDING OF MICRO-RELIEF ON A TWO-LAYER a-Si/Ag STRUCTURE

Published:2021-05-21 Issue: Volume:8 Page:229-235
ISSN:2618-981X
Container-title:Interexpo GEO-Siberia
language:
Short-container-title:

Author:

Sydyk uulu Nurbek¹,Kutanov Askar A.¹,Kazakbaeva Zamirgul M.²

Affiliation:

1. Academic J. Jeenbaev Institute of physics-technical problems National Academy of Sciences of the Kyrgyz Republic

2. Kyrgyz Turkish Manas University

Abstract

This paper presents the results of direct laser recording on a two-layer amorphous silicon / silver structure deposited on a glass substrate by magnetron sputtering. The absorption spectra of a-Si films of various thicknesses and a glass substrate are investigated. A method is proposed for direct laser recording of microstructures by focused radiation of a single-mode semiconductor laser with a wavelength of λ = 405 nm on a two-layer a-Si / Ag medium from the side of a glass substrate. The formation of the micro relief is studied during direct recording by semiconductor laser pulses with λ = 405 nm on the a-Si layer. Parameters of two-layer structure a-Si / Ag for direct laser recording are optimized.

Publisher

Siberian State University of Geosystems and Technologies

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering

Reference5 articles.

1. Корольков В.П., Чернухин В.П. Оптическая запись на пленках аморфного кремния с субмикронным разрешением // Журнал технической физики - 1989. - Т. 59 - вып. 6. - С.131-133.

2. Poleshchuk A G, Kutanov A et Microstructuring of Optical Surfaces: Technology and Device for Direct Laser Writing of Diffractive Structures Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. - 2010. - 46. - P.171-180.

3. Кутанов А.А., Н. Сыдык уулу, Снимщиков И.А., Великасов С.С., Макаров В.П. Спектральные интерференционные фильтры на пленках аморфного кремния и прямая лазерная запись на них // Мир голографии - 2016. - Т. 2, №1.- С. 83-87.

4. Макаров В.П., Великасов С.С., Макаров К.В., Календеров А.Ж., Сыдык уулу Н. Магнетронная напылительная система для получения пленок α -Si // Труды Международного семинара «Оптика и фотоника», Иссык-Куль, Кыргызстан. - 2012. - С. 126-128.

5. Устройство для записи дифракционных элементов: Патент № 007874 Евраз. патент, G 02 B 5/18 / Полещук А.Г., Кутанов А.А., Бесмельцев В.П, Снимщиков И.А., Опубл. 27.02.2007, Бюл. № 1.