1. Groupe de Recherche En Matériaux Microélectronique Acoustique et Nanotechnologies, Unité Mixte de Recherche 7347, University of Tours, Centre National de la Recherche Scientifique, Institut National des Sciences – Appliquées Centre-Val-de-Loire, Tours, 37100, France
2. Sorbonne Université, CNRS, UMR 7190, Institut Jean Le Rond ∂'Alembert, Paris, F-75005, France
3. Centre National de la Recherche Scientifique, Centrale Lille, Institut Supérieur de l'Électronique et du Numérique, Univ.-Lille, University-Valenciennes, Unité Mixte de Recherche 8520-Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologies, Lille, 59000, France