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Precision patterning sub-nanometrology relied up pico-meter quantum sensing approach

  • Published:2018-11-09 Issue: Volume: Page:
  • ISSN:
  • Container-title:Quantum and Nonlinear Optics V
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Fang Yan

Publisher

SPIE

Reference25 articles.

1. Wikipedia, “Picometer”, 5 September, 2018, (5 September, 2018).

2. Wikipedia, “Nanometrology”, 15 June, 2018,

3. Patterning roadmap: 2017 prospects;Neisser;Advanced Optical Technology,2017

4. ITRS lithography roadmap: status and challenges;Neisser;Advanced Optical Technology,2012

5. How atomic imaging is being pushed to its limit
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