Advanced wafer engineering for minimizing overlay: tailoring and reducing wafer stress and distortion

Author:

Lee Jong-Gu,Kim Hyeon-Jin,Kim JinMan,Kim HongJu,Heo Seok,Ko Haram,Jeon SungBin,Kim Young Ha,Hong Jinhong,Kang Hyunjae,Kim Jeong-Gil

Publisher

SPIE

Reference8 articles.

1. Direct silicon bonding dynamics: A coupled fluid/structure analysis

2. Recent Developments in Fine Pitch Wafer-To-Wafer Hybrid Bonding with Copper Interconnect;Theil,2019

3. ST Micro Studies Hybrid Bonding Reliability;Garrou,2019

4. CF/ML shift optimization for small pixel CMOS image sensor through FDTD simulation;Kuo,2010

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