EUV ablation: a study of the process

Author:

Liberatore Chiara,Bartnik Andrzej,Ahad Inam Ul,Toufarová Martina,Matulková Irena,Hájková Věra,Vyšín Luděk,Burian Tomáš,Juha Libor,Pina Ladislav,Endo Akira,Mocek Tomas

Publisher

SPIE

Reference14 articles.

1. Non-thermal desorption/ablation of molecular solids induced by ultra-short soft x-ray pulses

2. Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation source;BARTNIK,2005

3. Radiation degradation of poly(butene-1 sulfone) and poly(1,4-phenylene ether sulfone) in the soft x-ray region

4. http://www.sigmaaldrich.com/catalog/product/aldrich/440965?lang=en®ion=CZ

5. http://www.sigmaaldrich.com/catalog/product/aldrich/538833?lang=en®ion=CZ

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