Performance of FlexRay: a fully programmable illumination system for generation of freeform sources on high NA immersion systems

Author:

Mulder Melchior,Engelen André,Noordman Oscar,Streutker Gert,van Drieenhuizen Bert,van Nuenen Cas,Endendijk Wilfred,Verbeeck Jef,Bouman Wim,Bouma Anita,Kazinczi Robert,Socha Robert,Jürgens Dirk,Zimmermann Joerg,Trauter Bastian,Bekaert Joost,Laenens Bart,Corliss Daniel,McIntyre Greg

Publisher

SPIE

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1. Performance measurement of FlexRay pupil shaping module in lithography system;AOPC 2023: Optical Sensing, Imaging, and Display Technology and Applications; and Biomedical Optics;2023-12-18

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3. 步进扫描投影光刻机照明系统技术研究进展;Laser & Optoelectronics Progress;2022

4. 计算光刻研究及进展;Laser & Optoelectronics Progress;2022

5. Partially coherent beam smoothing using a microlens array;Optics Express;2021-12-16

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