Scale-up of the chemical lift-off of (In)GaN-based p-i-n junctions from sapphire substrates using sacrificial ZnO template layers
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SPIE
Reference20 articles.
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1. Microfabrication of SrRuO3 thin films on various oxide substrates using LaAlO3/BaOx sacrificial bilayers;Oxide-based Materials and Devices IX;2018-02-23
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