Templated self-assembly of Si-containing block copolymers for nanoscale device fabrication

Author:

Ross C. A.,Jung Y. S.,Chuang V. P.,Son J. G.,Gotrik K. W.,Mickiewicz R. A.,Yang J. K. W.,Chang J. B.,Berggren K. K.,Gwyther J.,Manners I.

Publisher

SPIE

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