Silicon photonic MEMS variable optical attenuator
Author:
Publisher
SPIE
Reference13 articles.
1. A variable optical attenuator based on silicon micromechanics
2. Development and evolution of MOEMS technology in variable optical attenuators
3. Electrostatic MEMS Variable Optical Attenuator With Rotating Folded Micromirror
4. Variable optical attenuator using a thermal actuator array with dual shutters
5. PDMS-based, magnetically actuated variable optical attenuators obtained by soft lithography and inkjet printing technologies
Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
1. Technologies and applications of silicon-based micro-optical electromechanical systems: A brief review;Journal of Semiconductors;2022-08-01
2. Silicon Photonic MEMS Phase-Shifter;Optics Express;2019-06-20
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