Study on the single pulse ablation characteristics of SiC ceramics by infrared femtosecond laser

Author:

Shen Shunquan,Chen Xiaoxiao,Zhang Xuanhua,Chen Jianbo,zhang Wenwu

Publisher

SPIE

Reference14 articles.

1. Impact of silicon carbide semiconductor technology in Photovoltaic Energy System

2. Laser machining of structural ceramics—A review

3. Silicon carbide and diamond for high temperature device applications

4. Process research on micro-machining diamond microgroove by femtosecond laser;Jian;Integrated Ferroelectrics,2019

5. Influence of Pulse Energy and Scanning Speed of Femtosecond Laser on Surface Roughness of SiC Ceramics;Qingzhen;Integrated Ferroelectrics,2021

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