Non-digitized diffractive beam splitters for high-throughput laser materials processing

Author:

Amako J.,Fujii E.

Publisher

SPIE

Reference14 articles.

1. Novel beam delivery system for microvia drilling using holographic and refractive optics

2. Industrial applications of ultrahigh precision short-pulse laser processing (Invited Paper);Liu,2005

3. Fan out diffractive beam splitter: 5 phase level binary versus 50 phase level grayscale;Lizotte,2006

4. Multi-spot laser processing of crystalline solar cells

5. Efficient beam splitting with continuous relief DOEs and microlens arrays

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