Squeeze film damping in MEMS loudspeakers: analysis of a clamped-clamped microbeam

Author:

Melnikov Anton,Schenk Hermann A. G.,Wall Franziska,Monsalve Jorge M.,Ehrig Lutz,Stolz Michael,Mrosk Andreas,Langa Sergiu,Kaiser Bert

Publisher

SPIE

Reference12 articles.

1. A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections

2. Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers

3. Coulomb-actuated microbeams revisited: experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation

4. Schenk, H. A. G., Melnikov, A., Wall, F., Gaudet, M., Stolz, M., Schuffenhauer, D., and Kaiser, B., “Coulomb actuated microbeams: A Chebyshev-Edgeworth approach to highly efficient lumped parameter models,”

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