Analysis of contacting characteristics on aerostatic bearing stylus displacement sensor
Author:
Publisher
SPIE
Reference8 articles.
1. Vibration analysis of stylus instrument for random surface measurement
2. Measurement and characterization of a nano-scale multiple-step height sample using a stylus profiler
3. Surface metrology
4. A slope-adapted sample-tilting method for profile measurement of microstructures with steep surfaces[J].;Fang;Journal of Nanomaterials,2015
5. Stylus Flight in Surface Profiling
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