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Realization of sub-micron radius of curvature measurement in vertical interferometer workstation

  • Published:2014-09-18 Issue: Volume: Page:
  • ISSN:0277-786X
  • Container-title:SPIE Proceedings
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Miao Erlong,Wang Rudong,Zhang Wei,Peng Shijun

Publisher

SPIE

Reference8 articles.

1. Fringe Scanning Interferometers;Bruning,1978

2. Acta Optica Sinica

3. Radius measurement by interferometry

4. Uncertainties in interferometric measurements of radius of curvature [C];Schmitz,2001

5. Displacement Uncertainty in Interferometric Radius Measurements
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