New sputtering concept for optical precision coatings

Author:

Rademacher Daniel,Bräuer Günter,Vergöhl Michael,Fritz Benjamin,Zickenrott Tobias

Publisher

SPIE

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1. Ellipsometric control of layer thickness during coating of nanolaminate layers;Advances in Optical Thin Films VIII;2024-06-24

2. Sputtering platform for double-sided precision optical coatings;Oxide-based Materials and Devices XIII;2022-03-05

3. Simulation of microparticle motion and contamination in plasma coating systems;Journal of Vacuum Science & Technology B;2020-03

4. Für den weitesten Weg: Schichten im All;Vakuum in Forschung und Praxis;2019-12

5. Uniformity and wavefront control of optical filters;International Conference on Space Optics — ICSO 2018;2019-07-12

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