Optical coating uniformity of 200mm (8") diameter precut wafers
Author:
Affiliation:
1. Agilent Technologies Australia (Australia)
2. Agilent Technologies, Inc. (United States)
Publisher
SPIE
Reference5 articles.
1. Burt, T., et al. “Automated multi-point analysis with multi-angle photometric spectroscopy” Proc. SPIE 8992, Photonic Instrumentation Engineering 89920H (2014). http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1846537
2. The UMA: A new tool for Multi-angle Photometric Spectroscopy
3. Quality control of oblique incidence optical coatings based on normal incidence measurement data
4. Oscillations in spectral behavior of total losses (1 − R − T) in thin dielectric films
5. Optical characterization and reverse engineering based on multiangle spectroscopy
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