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Comparison study between tungsten and aluminum plug for submicrometer contact via manufacturing

  • Published:1994-09-09 Issue: Volume: Page:
  • ISSN:0277-786X
  • Container-title:SPIE Proceedings
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Gn Fang H.,Liu Lianjun,Guo Michael

Publisher

SPIE

Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Al speed fill;Materials Science in Semiconductor Processing;1999-04

2. Integration of Al-Fill Processes for Contacts and VIAS;MRS Proceedings;1996
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