Influence of oxygen on the quality of the PZT thin films prepared by IBS
Author:
Affiliation:
1. Institute of Plasma Physics of the ASCR, v.v.i. (Czech Republic)
Publisher
SPIE
Reference13 articles.
1. Jaffe, B., Cook, W. R., Jaffe, H. L. Piezoelectric ceramics. London; New York: Academic Press, 1971. ISBN: 978-0-323-15568-7.
2. Preparation of Pb(Zr,Ti)O3thin films by an electron beam evaporation technique
3. Ion‐beam deposition of thin films of ferroelectric lead zirconate titanate (PZT)
4. Epitaxial growth of ferroelectric PLZT [(Pb, La)(Zr, Ti)O3] thin films
5. Preparation and electrical properties of MOCVD‐deposited PZT thin films
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