The keys to extending anisotropic KOH silicon etching to higher aspect ratio features
Author:
Publisher
SPIE
Reference8 articles.
1. High aspect ratio anisotropic silicon etching for x-ray phase contrast imaging grating fabrication
2. High aspect ratio silicon etch: A review
3. Microchemicals; Basics of microstructuring: WET-CHEMICAL ETCHING OF SILICON AND SIO2; July 4, 2023,
4. Revista de Tehnologii Neconventionale;Botis;MICROMACHINING OF SILICON BY CHEMICAL ETCHING Sibiu,2010
5. Precise mask alignment to the crystallographic orientation of silicon wafers using wet anisotropic etching
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