Design of SiN waveguide reference wave source for point diffraction interferometer

Author:

Chen Yuankai,Yang Yongying,Wang Chen,Li Yao,Liang Zijian,Zhao Hongyang,Liu Shengan,Bai Jian

Publisher

SPIE

Reference6 articles.

1. A simple interferometer for testing optical systems;Linnik;Acad. Sci. URSS.,1933

2. Theory and Application of Point-Diffraction Interferometers

3. Analysis of diffraction wavefront in visible-light point-diffraction interferometer

4. Absolute measurement of spherical surface by point diffraction interferometer;Otaki,1999

5. High-NA fiber point-diffraction interferometer for three-dimensional coordinate measurement

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