Enhancing CD-SEM accuracy with attention-boosted Noise2Noise model

Author:

Okada Yu,Liu Hsuehli,Lee Chieh-En,Tien Chung-Hao,Yu Peichen

Publisher

SPIE

Reference14 articles.

1. Institute of Electrical and Electronics Engineers, “International Roadmap for Devices and Systems 2022 Edition Lithography”, (2022).

2. Image quality enhancement of a CD-SEM image using conditional generative adversarial networks;Midoh,2019

3. A Review: Generative Adversarial Networks;Gonog,2019

4. Noise2Noise: Learning image restoration without clean data;Lehtinen,2018

5. Denoising sample-limited SEM images without clean data;Lei,2021

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