Si capacitive modulator integration in a 300mm silicon photonics platform using different annealing conditions

Author:

Charlet Ismael,Deniel Lucas,Acosta-Alba Pablo,desieres yohan,guerber sylvain,kerdiles sébastien,lassarre jessica,perrot cédric,euvrard-colnat catherine,ribaud karen,grosse philippe,gregoire magali,rovayaz karine,mazet lucie,cremer sebastien,vulliet nathalie,monfray stephane,messaoudene sonia,marris morini delphine,boeuf frederic

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